2830 ZT
最先端の波長分散型蛍光X線分析
2830 ZT波長分散型蛍光X線(WDXRF)ウェハーアナライザは、膜厚・組成を測定するための究極の機能を提供します。パナリティカルの2830 ZTウェハーアナライザは半導体およびデータストレージ業界向けに開発されており、最大300 mmの各種ウェハーの層の組成、厚さ、ドーパント濃度、表面の均一性を測定できます。
2830 ZT
特長
2830 ZTには、パナリティカルのSuperQソフトウェアが付属します。このソフトウェアには、マルチレイヤー分析用に特別に開発されたソフトウェアパッケージが含まれています。
仕様
優れた軽元素分析性能を発揮する2830 ZTが持つ主な特長により、2830 ZTの軽元素分析における感度と安定性が最大限まで引き上げられます。
どのように役に立つか
この装置のソフトウェアには、研究者やエンジニアが容易に操作できるように、分り易いモジュール化を行っております。
SuperQ Thin Film
SuperQ 薄膜解析ソフトウェアプラットフォームでは、正確なプロセス管理とウェハー分析をかつてないほど容易に実行できます。
薄膜メトロロジーで使用
X線メトロロジーは、大量生産・開発において化合物半導体を分析するための理想的なツールです。
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